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新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX180 使用了獨(dú)特的專(zhuān)利保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX180 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX系列主要特性和優(yōu)勢(shì)
1.占地面積小且重量輕 – 作為可用的 最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝 選項(xiàng)。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和 安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。
2.受專(zhuān)利保護(hù)的獨(dú)特泵機(jī)構(gòu) – EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
3.超清潔機(jī)構(gòu) – 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤(rùn)滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。
4.非?？煽?– EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，最大程度地延長(zhǎng)了泵的 使用壽命。
5.運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲。
EPX 系列支持清潔和輕 型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點(diǎn) 站應(yīng)用。
EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能，可實(shí)現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲專(zhuān)利的獨(dú)特單軸再生 Holweck? 分級(jí)機(jī)構(gòu)， 能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。
EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強(qiáng)的性能，既可集成到制程工具，又可以遠(yuǎn)程 安裝。此外，通過(guò)集成的 MicroTIM 電子模塊還可以與制程工具 輕松建立通信連接。
EPX180L/EPX180LE技術(shù)參數(shù)：
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 極限真空 | |
| <1 x 104?mbar | |
| <7.5 x 10-5?Torr | |
| <1 x 10-2?Pa | |
| 預(yù)熱時(shí)間（達(dá)到標(biāo)稱(chēng)性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO63 |
| 出口法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接頭 | 3/8 in 快速 |
| 最小冷卻水流速 | 2 lm-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機(jī)額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 43.5 kg |
EPX180L訂貨號(hào)：
EPX180L 干泵 400V，3/8 水接頭
A41941014
EPX180L 干泵 208V C3 TIM 9/16 水接頭
A41941132
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941212
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX180L 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
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EPX180L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接頭
A41941314
EPX180L 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
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EPX180L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41941712
EPX180L 干式泵 200V
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EPX180L 干式泵 200V，3/8 水接頭
A41941012
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941112
EPX180L 干式泵 400V 1/4 水接頭
A41941024
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941142
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
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EPX180L 干式泵 400V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941214
EPX180LE系列訂貨號(hào)：
EPX180LE 干泵 208V 無(wú) TIM 3/8 水接頭
A4194301
EPX180LE 干泵 400V 無(wú) TIM 3/8 水接頭
A41943014
EPX180LE 干泵 208V 無(wú) TIM 1/4 水接頭
A41943022
EPX180LE 干泵 400V 無(wú) TIM 1/4 水接頭
A41943024
EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41943112
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41943212
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接頭
A41943612
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41943712
EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41943714
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接頭
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EPX180“N”系列包括一個(gè)可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應(yīng)用范圍擴(kuò)大為中等制程，在這類(lèi)制程中預(yù)期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
訂貨號(hào)：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41942112
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41942212
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41942222
EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942714
EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接頭
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愛(ài)德華真空泵由于產(chǎn)品的多樣化，所以每一個(gè)型號(hào)都有著很大的系列，不同的系列應(yīng)用在不同的行業(yè)有著非常明顯的效果，因此，在購(gòu)買(mǎi)愛(ài)德華真空泵產(chǎn)品是需要謹(jǐn)慎選項(xiàng)，歡迎有任何愛(ài)德華真空泵需求的客戶(hù)來(lái)電咨詢(xún)。
